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エピタキシャル成長のフロンティア (シリーズ 結晶成長のダイナミクス)

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字幕(単行本 - Jun 2002)
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言語Japan
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エピタキシャル成長 日経 xTECH(クロステック) ~ 基板上に結晶軸のそろった結晶層を成長させる技術。不純物や欠陥のない結晶層を作る。基板上でガスを反応させて結晶層を積み上げるVPE(気相成長)法と,溶液を接触させて結晶相を成長させるLPE(液相成長)法などがある。


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